Vom 23.-26. März 2025 fand in der reizenden Stadt Leipzig, Deutschland, der 9. Area Selective Deposition Workshop ASD2025 statt mit 135 Teilnehmern aus 18 Ländern. Dies ist die wichtigste Veranstaltung der wissenschaftlichen Community, die sich mit der flächenselektiven Abscheidung dünner Schichten beschäftigt – einer Schlüsseltechnologie für die Halbleiter-Technik der Zukunft.
Entsprechend groß war das Interesse der Teilnehmenden aus akademischer Forschung, Forschungsinstituten und Industrie. Ein Tutorium am Sonntag führte in wichtige Themengebiete sowohl für Einsteiger als auch fortgeschrittene Anwender ein.
An den Haupt-Tagen Montag und Dienstag wurden 8 eingeladene und 23 weitere Vorträge gehalten, die ein breites Spektrum der akademischen und industriellen Forschung und Anwendung der flächenselektiven Deposition aufzeigten. Es zeigte sich, dass die aktuell größte Herausforderung in der selektiven Bedeckung von ähnlichen Oberflächen, insbesondere Halbleiter-Oberflächen neben anderen Halbleiter-Oberflächen, liegt.
Der Mittwoch war einem Industrie-Symposium gewidmet, in dem 6 Vortragende die aktuellen Entwicklungen mittelständiger und großer Unternehmen aus dem In- und Ausland auf dem Gebiet der ASD zeigten und Fragen und Herausforderungen für die akademische Forschung formulierten. Dies wurde in einer Podiumsdiskussion über den aktuellen Stand der Technik und die Herausforderungen in diesem wachsenden Bereich weiter konkretisiert. Außerdem wurde der Fahrplan für weitere Forschungs- und Entwicklungsarbeiten in der Gemeinschaft kritisch diskutiert.
Neben dem wissenschaftlichen Programm hatten die Teilnehmenden auch die Möglichkeit, Leipzig kennenzulernen. Unter anderem bei einem Konferenzdinner im Restaurant des Leipziger Zoos mit exklusivem Besuch des Gondwanalandes – nach Teilnehmer-Bekundungen ein absolutes Highlight.
Durch die Tagung ist Leipzig nun auf der „Landkarte“ der Forschenden aus aller Welt auf einem wegweisenden und aktuellen Forschungsgebiet. Federführend organisiert wurde die Tagung vom Team der Professur für Theoretische Chemie komplexer Materie unterstützt von FUConfirm. Prof. Ralf Tonner-Zech (LU) und Prof. Anjana Devi (TUD) fungierten als Chair und Co-Chair der Tagung.